Produkty wysokiej próżni

Specjalistyczną częścią oferty SMC są komponenty do wysokiej próżni, wykorzystywane głównie w przemyśle półprzewodników, produkcji ekranów, lamp próżniowych oraz w laboratoriach naukowych. W warunkach tzw. wysokiej i ultrawysokiej próżni (UHV) wymagane są elementy o niezwykle wysokiej szczelności oraz wykonane z materiałów, które nie emitują gazów (niska prężność par). SMC dostarcza różne typy zaworów próżniowych, w tym zawory kątowe oraz zawory inline (w linii) – stosowane przy komorach próżniowych do odcinania lub wpuszczania gazu. Są to zawory o konstrukcji najczęściej grzybkowej, gdzie korpus i grzyb wykonane są ze stali nierdzewnej, a uszczelnienia z materiałów takich jak elastomer FKM czy metal (dla UHV). Zawory kątowe SMC cechują się gładkimi powierzchniami wewnętrznymi i minimalną przestrzenią martwą, co ogranicza miejsca potencjalnego uwięzienia gazów. Dostępne są w wersjach manualnych oraz sterowanych elektrycznie – te drugie wyposażone są w siłowniki (pneumatyczne lub elektromagnetyczne), umożliwiające zdalne otwieranie/zamykanie zaworu.

Do zastosowań wymagających szybkiego odcięcia próżni SMC oferuje zawory bramowe (szczelinowe), które dzięki płaskiej zasuwie umożliwiają zamknięcie dużych przekrojów (np. porty do komór procesowych) bez wprowadzania turbulencji w strumieniu gazu. Ich mechanizmy zapewniają wiele cykli pracy bez utraty szczelności, co jest istotne np. w produkcji półprzewodników, gdzie komory są często otwierane i zamykane. Innym elementem są zawory łagodnego odpowietrzania – stosowane do kontrolowanego wpuszczania powietrza do komory próżniowej po zakończeniu procesu. Umożliwiają one stopniowe wyrównanie ciśnienia, zapobiegając gwałtownym przepływom i wznoszeniu cząstek w komorze. SMC dostarcza również akcesoria do systemów próżniowych: przepusty próżniowe, złącza (fittings) do wysokiej próżni, uszczelki (standardu ISO-KF, ISO-K itp.) oraz próżniomierze do monitorowania poziomu próżni. Wszystkie produkty wysokiej próżni SMC są projektowane pod kątem minimalizacji generowania zanieczyszczeń – np. stosowane smary są typu UHV, a elementy podlegają specjalnej obróbce i czyszczeniu. Dzięki temu spełniają surowe wymagania branży półprzewodników i badawczej co do czystości procesu. Komponenty te gwarantują niezawodną izolację próżni i długotrwałą szczelność, pozwalając na utrzymanie wymaganych poziomów ciśnienia rzędu 10^(-6) Pa i niższych.